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電気電子材料研究室

教員

佐藤　祐喜（教授）Yuuki SATO

DB

研究分野 半導体材料やセラミックスなどの機能性電子材料の薄膜形成や複合化への応用とその物性評価
研究室 YE-118
TEL 0774-65-6346
FAX  
E-mail yusato@mail.doshisha.ac.jp

堺　健司（准教授）Kenji SAKAI

DB

研究分野 磁気を用いた先端計測法と物性評価法の開発
研究室 YE-319
TEL 0774-65-6329
FAX  
E-mail kesakai@mail.doshisha.ac.jp

研究内容

当研究室では、物作り・シミュレーション・解析・評価・応用までを一貫して自分で行う研究体制をとっており、自分の研究テーマを深く理解することができるように指導させていただいています。設備も充実しています。以下に、研究テーマを紹介します。
レーザアブレーション法による超伝導薄膜の作製
一次元超イオン導電体のイオン伝導の研究
ドライプロセスによるLiNbO3光導波路の作成
半導体の不純物順位検出のためのICTS測定装置研究
GHz周波数対応の電磁波吸収体材料の開発

薄膜高温発熱体

薄膜高温発熱体
薄膜高温発熱体

現有機器

  • 製膜機器［スパッタ装置，プラズマCVD装置，RF，ECR-プラズマエッチング装置，真空蒸着装置等］
  • 評価機器［LCRメータ（0.001Hz～1.8GHz），マイクロ波測定器（～40GHzSNA，～6GHz VNA，10～100GHzマイクロ波測定器），XRD，クライオスタット等］
  • 半導体デバイス作製装置一式（マスクアライナ，ワイヤボンダー，電気炉等）

電気電子材料研究室2研究成果論文リスト（1998～2003）

2003年

  1. Yamada and S. Yoshikado: "Deposition and Evaluation of YBCO Thin Films by Visible-lght Pulsed Laser Ablation Method, Key Engineering Materials, 248, 117-120 (2003)
  2. Fukao, Y. Ito, and S. Yoshikado: "Mechanism of Electric Charge Emission from LiNbO3Single Crystal, Key Engineering Materials, 248, 23-26 (2003)
  3. Kusunoki, T. Kondo, K. Hiraki, K. Takada and S. Yoshikado: "Grain-size Dependence of the Characteristics of Electromagnetic Wave Absorbers of Ferrite-SiO2 Composites, Key Engineering Materials, 248, 161-164 (2003)
  4. Fijimura and S. Yoshikado: "Preparation of TiO2 Thin Film for Dye Sensitized Solar Cell Deposited By Electrophoresis Method, Key Engineering Materials, 248, 133-136 (2003)
  5. Wakisaka, H. Kado and S. Yoshikado: "Fabrication and Evaluation of Ca, Sr- doped-LaCrO3 Thin Film Electric Heaters, Key Engineering Materials, 248, 121-124 (2003)
  6. Satoi and S. Yoshikado: "Effects of Addition of Al on Electrical Degradation of ZnO Varistors, Key Engineering Materials, 248, 99-102 (2003)
  7. Tamura and S. Yoshikado: "Etching Characteristics of LiNbO3 Crystal by Fluorine Gas Plasma Reactive Ion Etching (RIE), Surface and Coating Technology (2003) in press
  8. 井陽平，石川貴規，兼吉高宏，吉門進三："ZnOバリスタの添加物の原子価遷移の課電劣化への影響，電学論A，123，383-390（2003）
  9. 田旭洋，吉門進三："可視光レーザアブレーション法によるYBCO薄膜の堆積と評価，電学論A，123，132-138（2003）
  10. 井陽平，吉門進三："ZnOバリスタのAl添加の課電劣化への影響，電学論A，123，139-145（2003）
  11. 祐樹，近藤隆俊，平木聖大，高田和志，吉門進三："フェライト・SiO2複合電波吸収体の吸収特性の粒径依存性，電学論A，123，125-131（2003）

2002年

  1. S. Yoshikado, Y. Ito, and J. M. Reau: "Fluoride Ion Conduction in Pb1-xSnxF2 Solid Solution System, Solid State Ionics, 152-154, 503-509，2002
  2. 祐樹，近藤隆俊，吉門進三："フェライト・SiO2複合電波吸収体材料の吸収特性の改善および斜入射特性の評価，電学論A，122，485-492（2002）
  3. 楠祐樹，近藤隆俊，吉門進三：「抵抗皮膜を有する複合電波吸収体の開発および評価」，電学論A，122，373-377（2002）
  4. Yamada, H. Ohashi, and S. Yoshikado: "Deposition and Evaluation of YBCO Thin Films by Visible Light Laser Ablation Method, Key Engineering Materials, 228-229, 311-314 (2002)
  5. Kusunoki, T.Kondo, and S. Yoshikado: "Fabrication and Evaluation of Composite Electromagnetic Wave Absorbers, Key Engineering Materials, 228-229, 15-318 (2002)
  6. Satoi, S. Yoshikado: "The Effects of Transition of Valence State of Additives on Electrical Degradation for ZnO Varistors Key Engineering Materials, 228-229, 233-236 (2002)
  7. Hayashi, S. Sofue, and S. Yoshikado: "Fabricatin and Evaluation of LaCrO3 Thin Film Heaters, Electricak Engineering in Japan, 139, 269-275 (2002)

2001年

  1. 藤隆俊，吉門進三："セラミックス複合体の電磁気的特性について，J. Ceram. Soc. Japan，109，326-331（2001）
  2. Tamura and S. Yoshikado: "Etching Characteristics of LiNbO3 Crystal by Fluorine Gas Plasma Reactive Ion Etcing, Sci. Tech. Advanced Materials, 2, 563-569 (2001)
  3. Hayashi and S. Yoshikado: "Fabricatin and Evaluation of LaCrO3 Thin Film Electric Heaters, Key Engineering Materials, 216, 105-108 (2001)
  4. LaCrO3薄膜高温発熱体の開発と評価に関する研究"，電学論A，121，269-275（2001）

2000年

  1. Michiue, M. Watanabe, S.Yoshikado: "High-temperature X-ray Study for a single Crystal of the Hollandite-like One-dimensional Ionic Conductor NaxCrxTi8-xO16 (x=1.7), Solid State Ionics, 136-137, 939-943 (2000)
  2. u>S.Yoshikado, Y. Michiue, Y. Onoda, and M. Watanabe: "Ion Conduction in Single Crystals of the Hollandite-type One-dimensional Superionic Conductor NaxCrxTi8-xO16 (x=1.7), Solid State Ionics, 136-137, 371-374 (2000)
  3. 藤隆俊，浅野晃司，吉門進三："複合電波吸収体の開発および評価，電学論A，120, 211-217 (2000)
  4. 村崇司，太田朋成，吉門進三："フッ素系ガスプラズマRIEによるLiNbO3結晶のエッチング特性，電学論A，120, 198-203 (2000)
  5. Kondou, T. Aoki, K. Asano, and S. Yoshikado: "Fabrication of the Composite Electromagnetic Wave Absorber, Proc. of International Symposium on Electromagnetic Compatibility, EMC'99 Tokyo, 397-400 (1999)

1999年

  1. 父江聡，吉岡伸，吉門進三："LaCrO3薄膜高温発熱体の作製と評価，電学論A，119，636-641 (1999)
  2. 下嘉久，吉門進三："ZnOバリスタの課電劣化要因の評価，電学論B，119，652-657 (1999)
  3. u>S. Yoshikado, H. Funatomi, M. Watanabe, Y. Onoda, and Y. Fujiki: "Ion Conduction in One-dimensional Ionic Conductor AxGa8Ga8+xTi16-xO56 (A=K,Rb,Cs) , Solid State Ionics,121, 127-132 (1999)

1998年

  1. Ito, A-M. Vlaicu, T. Mukoyama, S. Sato, S. Yoshikado, C. Julien, I. Chong, Y. Ikeda, M. Takano, and Y. Sherman: "Detailed Structure of a Pb-doped Bi2Sr2CuO6Superconductor, Phys. Rev. B, 58, 2851-2857 (1998)
  2. -M. Vlaicu, A. Tochio, T. Ishizuka, D. Ohsawa, Y. Ito, T. Mukoyama, A. Nisawa, T. Shoji (, and S. Yoshikado: "Investigation of the 74W L Emission Spectra and Satellites, Phys. Rev. A, 58, 3544-3551 (1998)
  3. 田朋成，松井理保，吉門進三："LiNbO3のプラズマによるドライエッチング特性，電学論E，118，425-430 (1998)
  4. 野秀典，近藤隆俊，吉門進三："複合電波吸収材料の開発と評価，応用磁気学会誌，22，881-884 (1998)
  5. aruyama, N. Tanaka, K. Nakata, K. Yukimura, S. Yoshikado, and T. Maruyama: "Silicon Dioxide Thin Films Prepared from Silicon Tetraacetate Using ArF Excimer Laser by Chemical Vapor Deposition, Jpn. J. Appl. Phys. 37, 4938-4942 (1998)
  6. Tanaka, A. Maruyama, K. Yukimura, S. Yoshikado, and T. Maruyama: "Silicon Dioxide Thin Films Prepared by ArF Excimer Laser Chemical Vapor Deposition from Silicon Tetraacetate, Materials Chemistry and Physics, 54, 197-200 (1998)
  7. Koto, K. Ohno, S. Yoshikado, K. Yukimura, S. Kurooka, Y. Suzuki, A. Kinomura, A. Chayahara, and Y. Horino: "Titanium Implantation Profiles in Silicon Using Metal Plasma-based Ion Implantation Technique, Materials Chemistry and Physics, 54, 127-130 (1998)
  8. u>吉門進三，行村建，後久真輝："中心波長128nmArエキシマ光によるPTFE表面の親水化，電学論C，118，1211-1212 (1998)
  9. Ueno, T. Yasuyoshi, and S. Yoshikado: "Fabrication of the Composite Ferrite Electromagnetic Wave Absorber, J. Magn. Soc. Jpn., 22, Suppl. 369-371 (1998)
  10. 川明，廣田真人，阪口武彦，吉門進三："種々の添加物を用いたZnOバリスタの課電劣化の評価，電学論A，118, 169-175 (1998)
  11. Ito, T. Mukoyama, K. Ashio, K. Yamamoto, Y. Suga, S. Yoshikado, C. Julien, and T. Tanaka: "Ionic Conduction and Crystal Structure of β-Pb1-xSnxF2(x<0.3), Solid State Ionics, 106, 291-299 (1998)

業績および過去に参加した主なプロジェクト

過去に参加した主なプロジェクト；発生順に記載

文部科学省ハイテクリサーチセンター整備事業（1996～2000）
文部科学省フロンティア創生事業（1997～2001）
財団法人京都21光産業創生産学官共同プロジェクト（2001～2003）
文部科学知的クラスタ創成事業（2002～2006）

その他OTHERS

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