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理工学研究科機械工学専攻の梅田 知希さんが、日本設計工学会関西支部 2024年度研究発表講演会において、学生優秀発表賞を受賞しました。
2025年4月24日 更新
2025年3月1日に開催された日本設計工学会関西支部 2024年度研究発表講演会において、理工学研究科機械工学専攻の梅田知希さんが学生優秀発表賞を受賞しました。
梅田知希さんは、プラズマCVD法で形成したSiC膜の形成条件の1つであるTMSとH2ガス流量比がその構造、硬さ、摩擦特性に及ぼす影響を調査しました。流量比を増加させても膜中Si含有率は0.3程度が上限であること、流量比1.5までは膜中Si含有率の増加とともに低硬度でかつ摩擦係数が上昇すること、流量比2.0以上では膜構造の水素終端が増えることで低硬度かつ低摩擦化することを見出しました。
発表題目
プラズマCVD法で形成したSiC膜の硬さおよび摩擦特性に及ぼすTMS/H2流量比の影響
発表者
梅田 知希同志社大学理工学研究科 機械工学専攻博士課程（前期課程） 2年次生
（理工学部エネルギー機械工学科 卒業）
連名者
梅景 俊輔
同志社大学理工学部機械システム工学科 4年次生
中村 守正同志社大学理工学部機械理工学科 教授
松岡 敬同志社大学理工学部機械システム工学科 教授
| お問い合わせ |
理工学部・理工学研究科研究室事務室 TEL：0774-65-6211
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